第四 色 光峰科技肯求插手曝光系统等专利, 使插手条纹的条纹周期鼎沸预设周期精度

发布日期:2025-07-01 13:23    点击次数:63


第四 色 光峰科技肯求插手曝光系统等专利, 使插手条纹的条纹周期鼎沸预设周期精度

金融界2025年4月5日音讯,国度常识产权局信息融会,深圳光峰科技股份有限公司肯求一项名为“插手曝光系统、圭臬及光栅曝光系统”的专利第四 色,公开号CN119758672A,肯求日历为2023年9月。

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专利节录融会,本肯求公开了一种插手曝光系统、圭臬及光栅曝光系统,波及光学领域,插手曝光系统包括:关联光光源模块,用于输出第一关联光束以录取二关联光束,第一关联光束与第二关联光束的光束夹角为第一角度;光束养息模块,养息第一关联光束的光路,获取第三关联光束,以及养息第二关联光束的光路,获取第四关联光束,第三关联光束与第四关联光束的光束夹角为第二角度,所述第二角度小于所述第一角度;周期测量模块,用于检测第三关联光束以录取四关联光束所变成的插手条纹的条纹周期;齐全模块,用于字据条纹周期,笃定对应的养息参数,并字据养息参数养息光束养息模块,以使第三关联光束以录取四关联光束变成的插手条纹的条纹周期鼎沸预设周期精度。

天眼查贵府融会,深圳光峰科技股份有限公司,开发于2006年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册成本46260.5378万东谈主民币,实缴成本18024.6298万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,深圳光峰科技股份有限公司共对外投资了23家企业,参与招投标花式400次,财产痕迹方面有商标信息392条,专利信息2236条,此外企业还领有行政许可63个。

本文源自:金融界第四 色




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